REWORK1 Photo - 포토 공정 Photo 공정정의와 순서웨이퍼에 복잡한 패턴을 반복적으로 복사하는 공정(빛을 이용하여 웨이퍼에 회로를 그리는 공정)순서 : PR 코팅 -> Exporsure(노광) -> Develop(현상) -> Inspection(검사) ... Rework(재작업)PR CoatingAdhesion -> PR Coating -> Soft bakeAdhesion접착 단계로 HMDS 화학처리를 통해 PR이 웨이퍼에 잘 달라붙도록 함한다PR CoatingTrack 장비에서 Spin Spray 방식을 통해 PR 코팅을 진행한다PR 종류 : Positive PR / Negative PRPR Coating 후에 EBR(Edge Bead Removal) 작업을 통해 웨이퍼 가장자리의 PR을 Thinner 등으로 제거하는 작업이 필.. 2024. 11. 13. 이전 1 다음